[發明專利]流體控制裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201610801490.4
• 申請日: 2016-09-05
• 公開（公告）號: CN107795467B
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 陳世昌;張英倫;吳祥滌;黃啟峰;韓永隆;廖家淯;程政瑋
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B53/22
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

一種流體控制裝置的制造方法，包含:(a)提供殼體、壓電致動器及可變形基座結構，壓電致動器由壓電元件及振動板所構成，振動板具有第一表面及相對應的第二表面，第二表面具有突出部，可變形基座結構包含流通板及撓性板，撓性板具有可動部；(b)將撓性板及流通板相互堆疊接合構成可變形基座結構；以及(c)依序將殼體、壓電致動器及可變形基座結構相互堆疊定位接合組裝后，并實施于外部施加至少一作用力的同步變形作業，使撓性板及流通板產生同步變形，讓構成撓性板的可動部與流通板的突出部之間定義出一特定深度。

【技術領域】

本案是關于一種流體控制裝置的制造方法，尤指一種具有可變形基座的流體控制裝置的制造方法。

【背景技術】

目前于各領域中無論是醫藥、電腦科技、打印及能源等工業，產品均朝精致化及微小化方向發展，其中微泵、噴霧器、噴墨頭及工業打印裝置等產品所包含的流體輸送結構為其關鍵技術，是以，如何借創新結構突破其技術瓶頸，為發展的重要內容。

請參閱圖1A及圖1B所示，圖1A為已知流體控制裝置的部分結構示意圖，圖1B為已知流體控制裝置的部分結構組裝偏移示意圖。如圖所示，已知的流體控制裝置100的作動核心主要包含基板101及壓電致動器102，基板101與壓電致動器102是堆疊設置，且基板101與壓電致動器102具有一間隙103，其中，該間隙103需保持一定深度，借由此間隙103維持一定深度，當壓電致動器102受施加電壓而致動產生形變時，則可驅動流體于流體控制裝置100的各腔室內流動，借以達到流體傳輸的目的。然而，于此已知的流體控制裝置100中，其中壓電致動器102與基板101均為平板式的整體結構，且具有一定的剛性，在此條件下，欲使該兩個整體均為平板式的結構彼此精準對位，以致使該兩平板間產生具有一定之間隙103，即維持一定深度，會具有一定的困難度，極容易產生誤差，因為上述任一具一定剛性的整體平板，如有任一邊傾斜一角度θ，則于相對的位置均會產生相對的距離乘上該角度θ的位移值，例如一位移d，而導致該一定之間隙103的標線處增加d’(如圖1B所示)，或反之減少d’(未圖示)；特別是當流體控制裝置朝向微小化的發展，每一元件的尺寸均朝微小化設計進行，使得該兩平板間欲維持具有一定之間隙103，而不會增加或減少d’，進而保持間隙103的一定深度，其困難度越來越高，而若無法保持間隙103的一定深度，例如間隙103是增加上述一d’位移的誤差時，將導致該間隙103的距離過大，進而使得流體傳輸效率不佳；反之，若間隙是于相反方向以致減少上述一d’位移(未圖示)，則使得間隙103的距離過小，進而在壓電致動器102作動時易與其他元件接觸干涉，而產生噪音的問題，并導致流體控制裝置的不良率隨的提升。

換言之，由于已知的流體控制裝置100的壓電致動器102與基板101均為具有一定剛性的平板式整體結構，兩者平板間欲以整體對位方式，達到精準對位的目的顯為困難，尤其在元件尺寸越趨微小，組裝時更難精確對位，進而使流體輸送的效能低落及產生噪音的問題，導致使用上的不便利及不舒適。

因此，如何發展一種可改善上述已知技術缺失，可使傳統采用流體傳輸裝置的儀器或設備達到體積小、微型化且靜音，并克服組裝時易產生誤差的問題，進而達成輕便舒適的可攜式目的的微型流體傳輸裝置，實為目前迫切需要解決的問題。

【發明內容】

本案的主要目的在于解決已知的流體控制裝置中，基板與壓電致動器因元件微小化的設計，于組裝時不易精確地定位而產生誤差，使其于組裝后難以維持其間隙的需求距離，進而導致流體輸送的效能低落及產生噪音的問題，導致使用上的不便利及不舒適的問題。