[發明專利]微型流體控制裝置

有效

• 申請號: 201610801357.9
• 申請日: 2016-09-05
• 公開（公告）號: CN107023459B
• 公開（公告）日: 2023-07-18
• 發明（設計）人: 陳世昌;黃啟峰;韓永隆;廖家淯;陳壽宏;黃哲威;廖鴻信;陳朝治;程政瑋;張英倫;張嘉豪;李偉銘
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B45/047
• 分類號: F04B45/047;H02N2/02
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

1.一種微型流體控制裝置，適用于一微型氣壓動力裝置，包括：

一進氣板，具有至少一進氣孔、至少一匯流排孔及構成一匯流腔室的一中心凹部，該至少一進氣孔供導入氣體，該匯流排孔對應該進氣孔，且引導該進氣孔的氣體匯流至該中心凹部所構成的該匯流腔室；

一共振片，具有一中空孔洞，對應該進氣板的該匯流腔室；以及

一壓電致動器，具有：

一懸浮板，其中該懸浮板的型態為正方形結構，且該懸浮板具有介于7.5mm至8.5mm之間的長度、介于7.5mm至8.5mm之間的寬度以及0.27mm的厚度；

一外框，具有至少一支架，連接設置于該懸浮板及該外框之間；以及

一壓電陶瓷板，貼附于該懸浮板的一第一表面，且該壓電陶瓷板具有不大于該懸浮板邊長的邊長，具有介于7.5mm至8.5mm之間的長度、介于7.5mm至8.5mm之間寬度以及介于0.05mm至0.3mm之間的厚度，該壓電陶瓷板的該長度及該寬度比值為0.625倍至1.6倍之間；

其中，上述的該壓電致動器、該共振片及該進氣板依序對應堆疊設置定位，且該共振片與該壓電致動器之間具有一間隙形成一第一腔室，以使該壓電致動器受驅動時，氣體由該進氣板的該至少一進氣孔導入，經該至少一匯流排孔匯集至該中心凹部，再流經該共振片的該中空孔洞，以進入該第一腔室內，再由該壓電致動器的該至少一支架之間的一空隙向下傳輸，以持續推出氣體；以及

一微型閥門裝置，包括：

一閥門片；以及

一出口板具有至少一環形塊體結構的限位結構；

其中，上述的該閥門片及該出口板依序對應堆疊設置定位在該微型流體控制裝置上，且至少一該限位結構輔助支撐該閥門片，以防止該閥門片塌陷。

2.如權利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該微型氣壓動力裝置的操作頻率為28k、操作電壓為±15V，其最大輸出氣壓達到至少300mmHg。

3.如權利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電陶瓷板的長度為7.5mm至8.5mm、寬度為7.5mm至8.5mm及厚度為0.10mm。

4.如權利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板更包括一凸部設置在該懸浮板的一第二表面上，其高度介于0.02mm至0.08mm之間。

5.如權利要求4所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該凸部的高度為0.03mm。

6.如權利要求4所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該凸部為一圓形凸起結構，直徑為該懸浮板的最小邊長的0.55倍的尺寸。

7.如權利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該進氣板由一不銹鋼材質所構成，厚度介于0.4mm至0.6mm之間。

8.如權利要求7所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該進氣板的厚度為0.5mm。

9.如權利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該共振片由一銅材質所構成，厚度是介于0.03mm至0.08mm之間。

10.如權利要求9所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該共振片的厚度為0.05mm。

11.如權利要求1所述的微型流體控制裝置，其更包括至少一絕緣片及一導電片，且該至少一絕緣片及該導電片依序設置于該壓電致動器的下。

12.如權利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動器的該外框由一不銹鋼材質所構成，厚度介于0.2mm至0.4mm之間。

13.如權利要求12所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電致動器的該外框的厚度為0.3mm。