[發(fā)明專利]微型流體控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610801315.5
• 申請日: 2016-09-05
• 公開（公告）號: CN107795465B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓永隆;黃啟峰;陳世昌;廖家淯;廖鴻信;黃哲威;陳壽宏
• 申請（專利權(quán)）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

1.一種微型流體控制裝置，包含：

一壓電致動器，具有一懸浮板、一外框、至少一支架以及一壓電陶瓷板，該懸浮板為正方形型態(tài)，且具有一第一表面及相對應(yīng)的一第二表面，且該第二表面上具有一凸部，該外框環(huán)繞設(shè)置于該懸浮板的外側(cè)，且亦具有一第一表面及相對應(yīng)的一第二表面，且該外框的該第二表面與該懸浮板的該第二表面的該凸部之外的區(qū)域均為共平面，該懸浮板、該外框及該支架因此以同一深度的蝕刻方式所制成，該至少一支架連接于該懸浮板與該外框之間，該壓電陶瓷板具有不大于該懸浮板邊長的邊長，貼附于該懸浮板的該第一表面上；以及

一殼體，包括一集氣板及一底座，該集氣板為周緣具有一側(cè)壁以構(gòu)成一容置空間的一框體結(jié)構(gòu)，使該壓電致動器設(shè)置于該容置空間中，而該底座由一進氣板及一共振片相接合而成，并結(jié)合于該集氣板的該容置空間中，以封閉該壓電致動器，該進氣板具有至少一進氣孔及與之相連通的至少一總線孔，以構(gòu)成一匯流腔室，該共振片設(shè)置固定于該進氣板上，并具有一中空孔洞，相對于該進氣板的該匯流腔室，且對應(yīng)于該懸浮板的該凸部；

其中，該壓電致動器的外框的該第二表面與該底座的該共振片之間設(shè)置一膠層，該膠層的厚度是介于50至60μm之間，以使該壓電致動器與該底座的該共振片之間維持構(gòu)成需求的壓縮腔室的一深度。

2.如權(quán)利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該膠層的厚度為55μm。

3.如權(quán)利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板的厚度為0.1mm至0.4mm之間。

4.如權(quán)利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該外框的厚度為0.1mm至0.4mm之間。

5.如權(quán)利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于該懸浮板的該凸部高度是介于0.02mm至0.08mm之間。

6.如權(quán)利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板的該凸部為一圓形凸起結(jié)構(gòu)，直徑為4.4mm。

7.如權(quán)利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電陶瓷板具有介于0.05mm-0.3mm之間的厚度。

8.如權(quán)利要求7所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該壓電陶瓷板厚度為0.10mm。

9.如權(quán)利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板具有每一邊長有介于7.5mm-12mm之間以及厚度介于0.1mm-0.4mm之間。

10.如權(quán)利要求9所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板具有每一邊長有為7.5mm-8.5mm之間及厚度為0.27mm。

11.如權(quán)利要求1所述的微型流體控制裝置，其特征在于，該懸浮板、該外框及該至少一支架為一體成型的結(jié)構(gòu)。