[發明專利]集成納米結構的MEMS紅外光源及其制備方法有效
| 申請號： | 201610798788.4 | 申請日： | 2016-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN106374019B | 公開（公告）日： | 2018-10-09 |
| 發明（設計）人： | 明安杰;劉衛兵;李超波;王瑋冰;陳大鵬 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L33/36;H01L33/44;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228 | 代理人： | 張瑾 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 集成 納米 結構 mems 紅外 光源 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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