[發明專利]基于濕法預釋放結構的MEMS紅外光源及其制備方法有效
| 申請號： | 201610798783.1 | 申請日： | 2016-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN106185784B | 公開（公告）日： | 2018-06-22 |
| 發明（設計）人： | 明安杰;劉衛兵;孫西龍;王瑋冰;陳大鵬 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | B81B7/00 | 分類號： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228 | 代理人： | 張瑾 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖形化金屬電極 輻射層 隔離層 襯底 濕法 制備 嵌入式空腔 紅外光源 支撐層 沉積 釋放 承載 輻射效率 上表面 功耗 光源 兼容 | ||
【權利要求書】：
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