[發明專利]一種基于離子束刻蝕的打標方法及應用在審
| 申請號： | 201610797743.5 | 申請日： | 2016-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN106226994A | 公開（公告）日： | 2016-12-14 |
| 發明（設計）人： | 刁克明 | 申請（專利權）人： | 北京埃德萬斯離子束技術研究所股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京格允知識產權代理有限公司11609 | 代理人： | 周嬌嬌;譚輝 |
| 地址： | 100071 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 離子束 刻蝕 方法 應用 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京埃德萬斯離子束技術研究所股份有限公司，未經北京埃德萬斯離子束技術研究所股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610797743.5/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
