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[發明專利]一種涂覆有蠟層的掃描探針顯微鏡針尖及其制備方法與應用有效

專利信息
申請號: 201610796817.3 申請日: 2016-08-31
公開(公告)號: CN106443077B 公開(公告)日: 2020-02-21
發明(設計)人: 徐建勛;盧興;徐樂樂;黃威 申請(專利權)人: 國家納米科學中心
主分類號: G01Q60/04 分類號: G01Q60/04;G01Q60/38;G01Q60/16
代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 代理人: 王文君
地址: 100080 北*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 涂覆有蠟層 掃描 探針 顯微鏡 針尖 及其 制備 方法 應用
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖;

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