[發明專利]一種碳化硅單晶制造裝置有效
| 申請號： | 201610796440.1 | 申請日： | 2016-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN106119954B | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發明（設計）人： | 星野政宏;張樂年 | 申請（專利權）人： | 臺州市一能科技有限公司;張樂年 |
| 主分類號： | C30B23/00 | 分類號： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 臺州市方圓專利事務所(普通合伙) 33107 | 代理人： | 瞿海武 |
| 地址： | 318000 浙江省臺*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 制造 裝置 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于臺州市一能科技有限公司;張樂年，未經臺州市一能科技有限公司;張樂年許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610796440.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：基于隧道環境的智能通風監控系統
- 下一篇：一種手術腳架
