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[發明專利]基于熱陰極規的靜態升壓法材料放氣率測量裝置及方法有效

專利信息
申請號: 201610796215.8 申請日: 2016-08-31
公開(公告)號: CN106442214B 公開(公告)日: 2019-06-18
發明(設計)人: 李艷武;成永軍;董猛;盛學民;陳聯;李剛;黃宏;高潔 申請(專利權)人: 蘭州空間技術物理研究所
主分類號: G01N7/16 分類號: G01N7/16
代理公司: 北京理工大學專利中心 11120 代理人: 周蜜;仇蕾安
地址: 730000 甘*** 國省代碼: 甘肅;62
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基于 熱陰極 靜態 升壓 材料 放氣 測量 裝置 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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