[發明專利]減振器、減小干擾振動的方法和光刻機

有效

• 申請號: 201610795643.9
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN107783382B
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 周宏權;劉赟
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種減小干擾振動的方法，其特征在于，包括如下步驟：

采用隔振器對干擾振動進行初次隔離；接著，采用阻尼器對從所述隔振器傳入的干擾振動進行二次隔離；所述阻尼器包括阻尼彈簧或橡膠彈簧以及分設在所述阻尼彈簧或橡膠彈簧的上板和下板，位移控制系統包括水平向位移傳感器、垂向位移傳感器、速度位移控制器和控制閥，所述隔振器為空氣彈簧或鋼彈簧；采用位移控制系統探測阻尼彈簧相對基座的位移，當所述阻尼彈簧在水平向和/或重力方向上相對基座的位移超過位移限定值，速度位移控制器控制控制閥調整空氣彈簧的伸縮量，調整所述阻尼彈簧的相對位移在位移限定值范圍內，消除所述阻尼彈簧在長時間重負載壓縮下變形引起機器載荷相對光刻機外部世界的目標位置改變。

2.根據權利要求1所述的減小干擾振動的方法，其特征在于，所述隔振器和所述阻尼器串聯連接。

3.一種減振器，設置在設備的基座和機器載荷之間，其特征在于，包括串聯的隔振器和阻尼器，所述隔振器連接所述基座，所述阻尼器連接所述機器載荷；所述阻尼器包括阻尼彈簧或橡膠彈簧以及分設在所述阻尼彈簧或橡膠彈簧的上板和下板，位移控制系統包括水平向位移傳感器、垂向位移傳感器、速度位移控制器和控制閥，所述隔振器包括空氣彈簧或鋼彈簧；所述位移控制系統用于探測阻尼彈簧相對基座的位移，所述速度位移控制器用于控制控制閥調整空氣彈簧的伸縮量，當所述阻尼彈簧在水平向和/或重力方向上相對所述基座的位移超過位移限定值，調整所述阻尼彈簧的相對位移在位移限定值范圍內，消除所述阻尼彈簧在長時間重負載壓縮下變形引起機器載荷相對光刻機外部世界的目標位置改變。

4.根據權利要求3所述的減振器，其特征在于，所述阻尼彈簧采用阻尼材料制備。

5.根據權利要求4所述的減振器，其特征在于，所述阻尼材料為橡膠、塑料或橡膠塑料的復合材料。

6.根據權利要求3所述的減振器，其特征在于，所述減振器還包括一速度控制系統，所述速度控制系統包括速度傳感器、速度位移控制器和電機，所述速度傳感器設有至少兩個，所述速度傳感器分別設置在所述上板和所述基座上，所述速度傳感器用于探測所述阻尼器和所述基座的振動速度，并將探測信號傳遞給所述速度位移控制器，所述速度位移控制器相對所述基座固定設置并連接所述電機，所述電機設置在所述基座和所述下板之間并連接所述基座和所述下板。

7.根據權利要求6所述的減振器，其特征在于，所述速度傳感器包括水平向速度傳感器和垂向速度傳感器，所述水平向速度傳感器設置在所述上板上，所述垂向速度傳感器設置在所述上板和所述基座上。

8.根據權利要求6所述的減振器，其特征在于，所述電機包括水平向電機和垂向電機，所述下板包括沿水平向設置的本體和沿重力方向設置的支部，所述垂向電機連接所述基座和所述本體，所述水平向電機連接所述基座和所述支部。

9.一種光刻機，包括基座和機器載荷，所述機器載荷設置在所述基座上，其特征在于，還包括如權利要求3~8任一所述的減振器。