[發明專利]一種自動光學檢測裝置及其檢測方法

在審

• 申請號: 201610795343.0
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN107782738A
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發明（設計）人: 胡宇華;張鵬黎;王帆;徐文
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

1.一種自動光學檢測裝置，其特征在于，所述自動光學檢測裝置，包括：

用于設置待光學檢測之器件的工件臺，且所述工件臺在外界驅動裝置的作用下按預設軌跡運行；

作為自動光學檢測裝置之控制中心的工控機；

用于明場光源光路的第一光源；

用于暗場光源光路的第二光源；

用于明場的第一圖像采集器，且所述第一圖像采集器在第一光源條件下進行待光學檢測之器件的圖像采集；

用于暗場的第二圖像采集器，且所述第二圖像采集器在第二光源條件下進行待光學檢測之器件的圖像采集；以及

設置在所述明場光源光路中并通過一同步控制系統控制的電動快門，且所述電動快門通過所述工控機指令所述同步控制系統在用于暗場光源光路的所述第二光源點亮前關閉所述明場光源光路。

2.如權利要求1所述自動光學檢測裝置，其特征在于，所述同步控制系統進一步包括PCI同步脈沖信號發生板卡，且所述PCI同步脈沖信號發生板卡在預設時間點上發出方波脈沖信號。

3.如權利要求2所述自動光學檢測裝置，其特征在于，用于明場光源光路的所述第一光源和用于暗場光源光路的所述第二光源均為LED照明光源。

4.如權利要求3所述自動光學檢測裝置，其特征在于，所述電動快門之開合速度為毫秒量級。

5.一種采用如權利要求4所述自動光學檢測裝置的檢測方法，所述同步控制系統發生脈沖的時序邏輯，并在任一脈沖周期內分別對時間點T₁、T₂、T₃、T₄、T₅發送脈沖，設定所述電動快門的開合時間為Δt₁，余輝效應持續時長為Δt₂，且所述時間點滿足：T₁＜T₂≤T₃，T₁+Δt₂＝T₄≤T₅，T₄+Δt₂＝T₆，其特征在于，所述自動光學檢測裝置的檢測方法，包括：

在T₁時刻，所述工件臺運動至測試位置，并向所述工控機發出信號，要求進行圖像采集，且所述工控機同時指令所述同步控制系統向所述電動快門發出觸發信號，所述電動快門開始打開；

在T₂時刻，所述電動快門開口最大，所述同步控制系統向用于明場光源光路的所述第一圖像采集器發出觸發信號，所述第一圖像采集器開始積分采圖；

在T₃時刻，所述同步控制系統向用于明場光源光路的所述第一光源發出觸發信號，所述第一光源開始照明，所述第一圖像采集器持續處于明場照明采集狀態；

在T₄時刻，所述電動快門閉合；

在T₅時刻，所述電動快門處于閉合狀態，所述同步控制系統向用于暗場光源光路的所述第二圖像采集器發出觸發信號，所述第二圖像采集器開始積分采圖。

6.如權利要求2所述自動光學檢測裝置，其特征在于，用于明場光源光路的所述第一光源和用于暗場光源光路的所述第二光源均為氙燈照明光源。

7.如權利要求6所述自動光學檢測裝置，其特征在于，所述同步控制系統與所述電動快門和用于明場光源光路的所述第一光源呈并聯電連接。

8.如權利要求7所述自動光學檢測裝置，其特征在于，所述電動快門之開合速度為秒及以內。

9.如權利要求8所述自動光學檢測裝置，其特征在于，所述電動快門之打開時間設定小于用于明場光源光路的所述第一光源之點亮持續時間。

10.一種采用如權利要求9所述自動光學檢測裝置的檢測方法，所述同步控制系統發生脈沖的時序邏輯，并在任一脈沖周期內分別對時間點T₁、T₂、T₃、T₄發送脈沖，設定所述電動快門的開合時間為Δt₃，用于明場的第一圖像采集器之積分時間為Δt₄，且所述時間點滿足：T₁≤T₂＜T₃≤T₄，T₂+Δt₃≤T₃，T₁+Δt₄≤T₃，其特征在于，所述自動光學檢測裝置的檢測方法，包括：

在T₁時刻，所述工件臺運動至測試位置，并向所述工控機發出信號，要求進行圖像采集，且所述工控機在接受到所述工件臺之信號時，所述同步控制系統同時向所述電動快門和用于明場光源光路的所述第一光源發出觸發信號；

在T₂時刻，同時打開所述電動快門和點亮用于明場光源光路的所述第一光源；

在T₃時刻，所述電動快門閉合，所述同步控制系統向用于暗場的所述第二圖像采集器發出觸發信號，用于暗場的所述第二圖像采集器開始積分采集；

在T₄時刻，所述電動快門處于閉合狀態，所述同步控制系統向用于暗場光源光路的所述第二光源發出觸發信號，所述第二光源開始照明，所述第二圖像采集器持續處于暗場照明采集狀態。