[發明專利]圖案形成方法及光阻組成物在審
| 申請號： | 201610793819.7 | 申請日： | 2011-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN106200268A | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 加藤啟太;樽谷晉司;土橋徹;上村聰;榎本雄一郎;藤井佳奈;巖戶薰;片岡祥平;水谷一良 | 申請（專利權）人： | 富士膠片株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;G03F7/20;G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 陶敏;臧建明 |
| 地址： | 日本東京港區*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 形成 方法 組成 | ||
【權利要求書】：
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