[發明專利]浸沒交換裝置與方法

有效

• 申請號: 201610791454.4
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN107783380B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 叢國棟
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種浸沒交換裝置，用于在第一曝光臺和第二曝光臺之間進行浸沒交換時維持浸沒液場，其特征在于：所述浸沒交換裝置包括機械手組件、交換板、設置于所述第一曝光臺上的第一交換板接口和設置在所述第二曝光臺上的第二交換板接口，所述第一交換板接口和所述第二交換板接口的結構相同；

所述機械手組件，用以可分離地移動和承載所述交換板：

所述交換板，用以被所述機械手組件移動、對接至所述第一交換板接口，且在對接后，所述交換板與所述機械手組件分離，所述交換板和第一曝光臺被同步驅動移動，使得所述浸沒液場自所述第一曝光臺的曝光區域轉移至所述交換板上；

還用以對接至所述第二交換板接口，且在對接后，所述交換板與所述機械手組件分離，所述交換板和第二曝光臺被同步驅動移動，使得所述浸沒液場自所述交換板轉移至所述第二曝光臺的曝光區域，以進行在其上的曝光；

所述機械手組件包括一組或兩組機械手底座和機械手手臂，所述交換板承載于所述機械手手臂；所述機械手手臂安裝于所述機械手底座；

所述機械手組件包括一組所述機械手底座和機械手手臂時，所述機械手組件還包括沿第一方向設置于工作臺的側邊上的機械手導軌，所述機械手底座沿所述第一方向可移動地設置于所述機械手導軌上；

所述機械手組件包括兩組所述機械手底座和機械手手臂時，兩組所述機械手底座間隔地固定設置于工作臺的側邊上；

所述機械手底座具有Z向運動功能；所述機械手手臂可沿與所述第一方向垂直的第二方向運動；

所述機械手手臂具有一收回狀態，當所述機械手手臂處于所述收回狀態時，所述交換板位于平衡質量沿所述第二方向的側邊上，所述機械手底座降至最低位，位于所述第一曝光臺與所述第二曝光臺的下方。

2.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：

所述機械手手臂，驅動所述交換板平移；

所述機械手底座，驅動所述機械手手臂和其上的交換板垂向運動。

3.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：所述第一方向為X向，所述第二方向為Y向，所述第一曝光臺位于工作臺的曝光區，所述第二曝光臺位于工作臺的對準區，所述曝光區與所述對準區沿Y向分布，所述機械手導軌沿X向布置在所述工作臺的側邊上。

4.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：所述第一方向為Y向，所述第二方向為X向，所述第一曝光臺位于工作臺的曝光區，所述第二曝光臺位于工作臺的對準區，所述曝光區與所述對準區沿Y向分布，所述機械手導軌沿Y向布置在所述工作臺的側邊上。

5.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：所述機械手組件包括兩組所述機械手底座和機械手手臂時，其中一組所述機械手底座和機械手手臂用以驅動實現所述第一交換板接口/所述第二交換板接口與交換板的對接；另一組所述機械手底座和機械手手臂用以實現所述第二交換板接口/所述第一交換板接口與交換板的分離。

6.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：所述交換板或所述第一交換板接口上設有對準標記，所述第一交換板接口或交換板上設有探測所述對準標記的位置傳感器，所述交換板和第一交換板接口之間通過所述對準標記和位置傳感器實現對準，進而在對準后能夠實現對接。

7.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：所述交換板或第一交換板接口上還設有吸附件，所述交換板與第一交換板接口之間通過所述吸附件吸附連接。

8.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：所述第一交換板接口上還設有真空抽排孔。

9.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：所述交換板或第一交換板接口上還設有溫度傳感器和加熱件，所述加熱件根據所述溫度傳感器的檢測數據調節發熱量。

10.如權利要求1所述的浸沒交換裝置，其特征在于：所述第一交換板接口上還設有柔性密封圈。