[發明專利]長壽命的靶材組件

在審

• 申請號: 201610791397.X
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN107794501A
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;李小萍
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 高靜,吳敏

1.一種長壽命的靶材組件，其特征在于，包括：

用于濺射的靶材，所述靶材的使用厚度大于所述靶材厚度的77％，所述靶材的使用厚度是指在濺射過程中可供消耗靶材的厚度。

2.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材的厚度大于12毫米。

3.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材的使用厚度大于或等于所述靶材厚度的85％。

4.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材組件還包括用于固定所述靶材的背板；所述靶材包括用于濺射的濺射面，平行所述濺射面的平面內，所述靶材的形狀為圓形；

所述靶材為階梯狀臺體，包括第一部分、第二部分以及第三部分，所述第二部分的直徑小于所述第一部的直接且大于所述三部分的直徑，所述第一部分與所述與背板相連，所述第二部分位于所述第一部分與所述背板相對的一側，所述第三部分位于所述第二部分遠離所述第一部分的一側，所述濺射面為所述第三部分遠離所述背板一側的表面。

5.如權利要求4所述的靶材組件，其特征在于，垂直所述濺射面的方向上，所述第三部分的厚度大于所述第一部分的厚度；所述第三部分的厚度大于所述第二部分的厚度。

6.如權利要求4或5所述的靶材組件，其特征在于，垂直所述濺射面的方向上，所述第一部分的厚度在3毫米到3.6毫米范圍內；所述第二部分的厚度在3.3毫米到4.0毫米范圍內；所述第三部分的厚度在6.3毫米到7.7毫米范圍內。

7.如權利要求4所述的靶材組件，其特征在于，垂直所述濺射面的方向上，所述使用厚度大于所述第三部分和所述第二部分的厚度之和。

8.如權利要求4所述的靶材組件，其特征在于，所述背板的材料為無氧銅。

9.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材的材料為鋁、鈦或鎳。

10.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材包括用于濺射的濺射面，所述濺射面為平面。