[發(fā)明專(zhuān)利]提高良率提升缺陷監(jiān)測(cè)效率的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610790782.2 | 申請(qǐng)日： | 2016-08-31 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106206356B | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-05-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張丹丹;陳旭;邵雄 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L21/66 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 提高 提升 缺陷 監(jiān)測(cè) 效率 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 一種用于監(jiān)測(cè)站的天氣監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
- 一種電力設(shè)備安全監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及監(jiān)測(cè)方法
- 基于區(qū)塊鏈的環(huán)境監(jiān)測(cè)及數(shù)據(jù)處理方法和裝置
- 監(jiān)測(cè)方法以及裝置
- 醫(yī)院后勤能耗目標(biāo)對(duì)象的監(jiān)測(cè)方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備
- 故障監(jiān)測(cè)裝置和故障監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
- 一種社區(qū)養(yǎng)老安全監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
- 一種濕地生態(tài)環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及方法
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- 一種廢氣監(jiān)測(cè)裝置
