[發明專利]一種降低低壓超結器件的柵極電阻的元胞結構及其制備方法有效
| 申請號： | 201610784891.3 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN106206741B | 公開（公告）日： | 2023-07-04 |
| 發明（設計）人： | 張雨;劉俠;楊東林;羅義 | 申請（專利權）人： | 西安芯派電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/423;H01L21/336;H01L21/28 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 徐文權 |
| 地址： | 710077 陜西省西安市高新*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 降低 低壓 器件 柵極 電阻 結構 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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