[發明專利]一種電磁驅動式微機械可調諧琺珀濾波器及其制作方法有效
| 申請號: | 201610784533.2 | 申請日: | 2016-08-31 |
| 公開(公告)號: | CN106383377B | 公開(公告)日: | 2019-01-15 |
| 發明(設計)人: | 虞益挺;朱全發;李浩勇 | 申請(專利權)人: | 西北工業大學 |
| 主分類號: | G02B5/28 | 分類號: | G02B5/28;G02B26/00 |
| 代理公司: | 西北工業大學專利中心 61204 | 代理人: | 呂湘連 |
| 地址: | 710072 *** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 電磁 驅動 式微 機械 調諧 濾波器 及其 制作方法 | ||
【說明書】:
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