[發明專利]一種激光干涉儀的光路調校裝置和調校方法

有效

• 申請號: 201610781966.2
• 申請日: 2016-08-31
• 公開（公告）號: CN106323162B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 張斌
• 申請（專利權）人: 茂萊（南京）儀器有限公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 李倩

1.一種激光干涉儀的光路調校裝置，其特征在于：包括測試光路和成像光路，所述測試光路為激光器(S1)發出的激光通過空間濾波器(Q1)，再經過偏振分光棱鏡(P1)轉折90度后穿過1/4波片(P3)，再經過95/5分光鏡(P2)轉折90度后通過準直物鏡(Q2)到達平面鏡(M4)；

所述成像光路為被平面鏡(M4)反射的激光，平面鏡(M4)位于測試光路中準直物鏡(Q2)水平方向激光入射的另一側，被反射的激光沿水平返回，穿過準直物鏡(Q2)后經過95/5分光鏡(P2)轉折90度，再穿過1/4波片(P3)、偏振分光棱鏡(P1)，通過反射鏡I(M1)和反射鏡II(M2)轉折后穿過中繼鏡(Q3)，再經過反射鏡III(M3)轉折到變焦鏡頭(Q4)，最終到達CCD相機(S2)上成像；

在平面鏡(M4)反射面的反面水平光路處放置剪切板(W1)和角錐棱鏡(W2)；在空間濾波器(Q1)和偏振分光棱鏡(P1)之間的水平軸線上設置小孔光闌I(F1)；在95/5分光鏡(P2)和準直物鏡(Q2)之間的水平軸線上分別設置小孔光闌V(F5)和小孔光闌VI(F6)；在95/5分光鏡(P2)和1/4波片(P3)之間的垂直光路上設置小孔光闌III(F3)；在反射鏡I(M1)垂直入射光路后方設置小孔光闌VIII(F8)；在95/5分光鏡(P2)水平透射光路的后方設置小孔光闌VII(F7)；在反射鏡I(M1)反射的水平光路后端設置小孔光闌IX(F9)；在反射鏡II(M2)的上端垂直反射光路上設置小孔光闌X(F10)；在反射鏡III(M3)左側水平反射光路上設置小孔光闌XII(F12)。

2.根據權利要求1所述的激光干涉儀的光路調校裝置，其特征在于：所述激光器為氦氖激光器。

3.一種權利要求1所述激光干涉儀的光路調校裝置的調校方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1，在平面鏡(M4)反射面的反面水平光路處放置剪切板(W1)和角錐棱鏡(W2)，在空間濾波器(Q1)和偏振分光棱鏡(P1)之間的水平軸線上設置小孔光闌I(F1)，調整激光器(S1)和偏振分光棱鏡(P1)，使細光束通過小孔光闌I(F1)后，取走小孔光闌I(F1)；

步驟2，在95/5分光鏡(P2)和準直物鏡(Q2)之間的水平軸線上分別設置小孔光闌V(F5)和小孔光闌VI(F6)，調整95/5分光鏡(P2)，使細光束分別通過小孔光闌V(F5)和小孔光闌VI(F6)后，取走小孔光闌V(F5)和小孔光闌VI(F6)；

步驟3，分別在95/5分光鏡(P2)和1/4波片(P3)之間的垂直光路上、反射鏡I(M1)垂直入射光路后方以及95/5分光鏡(P2)水平透射光路的后方設置小孔光闌III(F3)、小孔光闌VII(F7)和小孔光闌VIII(F8)，調整角錐棱鏡(W2)使細光束返回后通過小孔光闌III(F3)、小孔光闌VII(F7)和小孔光闌VIII(F8)，取走小孔光闌III(F3)；

步驟4，在反射鏡I(M1)反射的水平光路后端設置小孔光闌IX(F9)，調整反射鏡I(M1)，使光通過小孔光闌IX(F9)；

步驟5，在反射鏡II(M2)的上端垂直反射光路上設置小孔光闌X(F10)，調整反射鏡II(M2)，使光通過小孔光闌X(F10)，取走小孔光闌X(F10)；

步驟6，在反射鏡III(M3)左側水平反射光路上設置小孔光闌XII(F12)，調整反射鏡III(M3)，使光通過小孔光闌XII(F12)，取走小孔光闌XII(F12)；

步驟7，調整空間濾波器(Q1)和準直物鏡(Q2)，使光束居中、均勻，轉動1/4波片(P3)調視場亮度到一定值；

步驟8，轉動準直物鏡(Q2)，使剪切板條紋小于2條；

步驟9，調整中繼鏡(Q3)，使光束居中，均勻；

步驟10，調整變焦鏡頭(Q4)，使光束成像在CCD相機(S2)中間且變倍調焦光斑始終居中。