[發明專利]提高電鑄微流控鎳模具壽命的方法及電鑄微流控鎳模具有效
| 申請號： | 201610772529.4 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN106222708B | 公開（公告）日： | 2018-07-13 |
| 發明（設計）人： | 郭哲;劉祝凱;許斌;李曉龍;胡在兵 | 申請（專利權）人： | 北京同方光盤股份有限公司 |
| 主分類號： | C25D1/10 | 分類號： | C25D1/10 |
| 代理公司： | 北京億騰知識產權代理事務所 11309 | 代理人： | 陳霽 |
| 地址： | 101500 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微流控 電鑄 模具 表面金屬化 電鑄模具 模具壽命 顯影處理 掩模板 襯底 負性 負性光刻膠 光刻膠圖形 片間均勻性 微流控芯片 打磨處理 打磨設備 模具背部 模具制備 光刻膠 光刻 減薄 鎳板 上旋 制備 打磨 精密 曝光 節約 | ||
【權利要求書】：
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