[發(fā)明專利]激光封裝方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610766719.5
• 申請(qǐng)日: 2016-08-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107785286B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃元昊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種激光封裝方法，使用激光加熱位于兩基底之間的玻璃料圖案，使得被加熱的所述玻璃料圖案將所述兩基底密封，其特征在于，所述方法包括：

步驟1：對(duì)所述玻璃料圖案進(jìn)行路徑分割，將所述玻璃料圖案劃分為若干子段，且相鄰兩子段之間具有一段重疊的區(qū)域，將該重疊的區(qū)域稱為拼接區(qū)；

每一所述子段的長(zhǎng)度小于或等于30mm;

步驟2：使用激光束在所述若干子段中一子段的起始點(diǎn)到結(jié)束點(diǎn)間進(jìn)行多次重復(fù)掃描，待掃描完成后移動(dòng)至下一子段的起始點(diǎn)；

步驟3：重復(fù)步驟2，直至所有玻璃料圖案全部掃描完成。

2.如權(quán)利要求1所述的激光封裝方法，其特征在于，所述若干子段的形狀包括直線和/或圓弧。

3.如權(quán)利要求1所述的激光封裝方法，其特征在于，步驟1中，將所述玻璃料圖案分割為若干個(gè)長(zhǎng)度相同的子段和/或若干個(gè)長(zhǎng)度不同的子段。

4.如權(quán)利要求1所述的激光封裝方法，其特征在于，所述拼接區(qū)的長(zhǎng)度小于所述若干子段中任一子段長(zhǎng)度的一半。

5.如權(quán)利要求1所述的激光封裝方法，其特征在于，所述步驟2包括：步驟21：選取一子段為初始掃描段，計(jì)算更新所述初始掃描段的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的位置坐標(biāo)；

步驟22：對(duì)該子段進(jìn)行工藝參數(shù)規(guī)劃；步驟23：激光束從該子段的起始點(diǎn)移動(dòng)至結(jié)束點(diǎn)；

步驟24：激光束跳轉(zhuǎn)至該子段的起始點(diǎn)，重復(fù)執(zhí)行步驟23，直到跳轉(zhuǎn)次數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)次數(shù)后執(zhí)行步驟25；

步驟25：計(jì)算下一子段的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)的位置坐標(biāo)，激光束跳轉(zhuǎn)至下一子段的起始點(diǎn)；

步驟26：重復(fù)步驟23-步驟25，直至所述玻璃料圖案被全部掃描完成。

6.如權(quán)利要求5所述的激光封裝方法，其特征在于，所述步驟24、25中，激光束跳轉(zhuǎn)過(guò)程中處于無(wú)輸出狀態(tài)。

7.如權(quán)利要求5所述的激光封裝方法，其特征在于，所述步驟25中，激光束跳轉(zhuǎn)前在當(dāng)前子段的結(jié)束點(diǎn)和/或激光束在跳轉(zhuǎn)后在下一子段的起始點(diǎn)存在時(shí)間延遲。

8.如權(quán)利要求7所述的激光封裝方法，其特征在于，通過(guò)控制激光束的掃描時(shí)間、跳轉(zhuǎn)時(shí)間和延遲時(shí)間，使每個(gè)子段具有相同的掃描周期。

9.如權(quán)利要求1所述的激光封裝方法，其特征在于，在掃描所述若干子段時(shí)，若存在特殊區(qū)域，則在掃描所述特殊區(qū)域時(shí)改變激光束的輸出功率和/或掃描速度，以改變所述特殊區(qū)域獲得的能量，其中所述特殊區(qū)域包括所述玻璃料圖案中的圓弧段、與所述圓弧段連接的直線段以及有電極穿過(guò)的區(qū)域。

10.如權(quán)利要求1所述的激光封裝方法，其特征在于，所述若干子段上每個(gè)子段還設(shè)置有起始區(qū)和/或停止區(qū)，掃描所述起始區(qū)和/或停止區(qū)時(shí)改變激光束的輸出功率和/或掃描速度，以改變所述起始區(qū)和/或停止區(qū)獲得的能量。

11.如權(quán)利要求10所述的激光封裝方法，其特征在于，所述起始區(qū)和停止區(qū)均為所述拼接區(qū)。

12.如權(quán)利要求1所述的激光封裝方法，其特征在于，還包括步驟4：采用自然冷卻、采用激光束以預(yù)定功率曲線方式掃描玻璃料和/或采用激光束以溫度反饋方式掃描玻璃料，從而對(duì)玻璃料進(jìn)行冷卻。

13.如權(quán)利要求1所述的激光封裝方法，其特征在于，所述若干子段的形狀包括多條直線與圓弧的組合。