[發(fā)明專利]切斷裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610765973.3
• 申請(qǐng)日: 2016-08-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106994754B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 三谷卓朗;郝鵬飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D5/00
• 代理公司: 北京柏杉松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 袁波;劉繼富

本發(fā)明涉及一種切斷裝置，在該切斷裝置中能夠選擇不同尺寸的切割環(huán)并使其固定在工作臺(tái)上。將工作臺(tái)(47)保持在通過(guò)交叉滾輪軸承(41)轉(zhuǎn)動(dòng)自如的基環(huán)(43、44)上。在工作臺(tái)(47)上隔著彈性板(52)安裝第1切割環(huán)(51)。此外，代替彈性板(52)和第1切割環(huán)(51)，在工作臺(tái)上設(shè)置保護(hù)定位板(53)，在其中央部分設(shè)置彈性板(54)，安裝第2切割環(huán)(55)。環(huán)收容單元(60)可以更換不同尺寸的按壓臂(64、67)，配合切割環(huán)的尺寸選擇性地安裝按壓臂。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種對(duì)經(jīng)由粘接材料安裝在切割環(huán)的脆性材料基板進(jìn)行切斷的切斷裝置，特別涉及一種能夠在工作臺(tái)上選擇性地設(shè)置尺寸不同的多個(gè)種類的切割環(huán)的切斷裝置。

背景技術(shù)

在專利文獻(xiàn)1中示出了將設(shè)有半導(dǎo)體晶片的切割環(huán)保持在工作臺(tái)上、從其上部壓下切斷條來(lái)進(jìn)行切斷的切斷裝置。在這種切斷裝置中，在工作臺(tái)上的切割環(huán)所保持的半導(dǎo)體晶片預(yù)先格子狀地形成有刻劃線。在將基板切斷成格子狀的情況下，沿1條刻劃線壓下切斷條來(lái)進(jìn)行切斷。然后使工作臺(tái)在固定方向上平行移動(dòng)，依次沿多條刻劃線切斷半導(dǎo)體晶片。接著使工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)約90°，沿與完成切斷的刻劃線正交的刻劃線同樣依次壓下切斷條來(lái)進(jìn)行切斷，并使工作臺(tái)在固定方向上平行移動(dòng)。這樣依次沿多條刻劃線切斷半導(dǎo)體晶片。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2014-83821號(hào)公報(bào)。

發(fā)明要解決的課題

半導(dǎo)體晶片當(dāng)前正不斷從8英寸向12英寸擴(kuò)大尺寸，處理大尺寸的切割環(huán)所裝載的半導(dǎo)體晶片的必要性正在增加。在現(xiàn)有的切斷裝置中，在變更切割環(huán)的尺寸的情況下，需要采用與各尺寸對(duì)應(yīng)的工作臺(tái)。因此存在不僅更換工作臺(tái)和其周圍部件很麻煩、而且更換后的精度調(diào)整需要很多的時(shí)間和工作量、成本變高的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這樣的問(wèn)題而完成的，其目的在于提供一種共同使用工作臺(tái)、并且能夠容易地變更切割環(huán)的尺寸的切斷裝置。

用于解決課題的方案

為了解決該課題，本發(fā)明的切斷裝置具有：工作臺(tái)，其保持成為分割對(duì)象的脆性材料基板；以及轉(zhuǎn)動(dòng)單元，其使所述工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)，在所述工作臺(tái)上選擇性地安裝第1切割環(huán)及尺寸比其小的至少1個(gè)第2切割環(huán)，對(duì)保持在所述任一個(gè)切割環(huán)的脆性材料基板進(jìn)行切斷，其中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)單元具有：環(huán)狀的保護(hù)定位板，其具有比所述第2切割環(huán)大的外徑，在內(nèi)側(cè)具有圓形開(kāi)口；環(huán)收容單元，其通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)自如的按壓臂將所述第1或第2切割環(huán)保持在所述工作臺(tái)上；第1彈性板，其在使用所述第1切割環(huán)時(shí)而被使用，設(shè)置在所述工作臺(tái)和所述第1切割環(huán)之間；以及第2彈性板，其在使用所述第2切割環(huán)時(shí)而被使用，被保持在所述保護(hù)定位板的開(kāi)口內(nèi)并被設(shè)置在所述工作臺(tái)和所述第2切割環(huán)之間。

在此，所述環(huán)收容單元的按壓臂可以安裝保持所述第1切割環(huán)的第1按壓臂和保持所述第2切割環(huán)的第2按壓臂中的一種。

發(fā)明效果

根據(jù)具有這樣的特征的本發(fā)明，能夠容易地切換在工作臺(tái)上隔著第1彈性板保持第1切割環(huán)的第1狀態(tài)和取下第1切割環(huán)及第1彈性板、隔著保護(hù)定位板和設(shè)置在其貫穿孔內(nèi)的第2彈性板保持第2切割環(huán)的第2狀態(tài)。通過(guò)將環(huán)收容單元的臂變更為與尺寸對(duì)應(yīng)的按壓臂，從而能夠容易地將不同尺寸的切割環(huán)保持在共同工作臺(tái)上。因此即使在使用不同尺寸的切割環(huán)的情況下，也可得到無(wú)需變更工作臺(tái)而能用同一切斷裝置進(jìn)行切斷的效果。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的切斷裝置的概略立體圖。

圖2是本實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的工作臺(tái)部分的俯視圖。

圖3是示出本實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的立體圖。

圖4是將本實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的上部區(qū)塊和下部區(qū)塊分開(kāi)表示的立體圖。