[發明專利]一種薄膜晶體管及其制備方法有效
| 申請號： | 201610763431.2 | 申請日： | 2016-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN106252395B | 公開（公告）日： | 2019-12-03 |
| 發明（設計）人： | 蔡世星;單奇;郭瑞;趙景訓;劉勝芳 | 申請（專利權）人： | 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/41 | 分類號： | H01L29/41;H01L21/336;H01L29/786 |
| 代理公司： | 11315 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 許志勇<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜晶體管 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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