[發(fā)明專(zhuān)利]一種旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610762764.3
• 申請(qǐng)日: 2016-08-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106270866B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張學(xué)文;胡清熊;祝永華;李云
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州蘇晶電子材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K1/00
• 分類(lèi)號(hào): B23K1/00;B23K1/19;B23K1/20
• 代理公司: 常州知融專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 32302
• 代理人: 張曉東

1.一種旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接方法，其特征在于：該焊接方法包括如下步驟：

(1)材料準(zhǔn)備

準(zhǔn)備第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材、第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材、第三旋轉(zhuǎn)鉬靶材、背管、底座、焊料、加熱器、定位密封套、夾具，對(duì)旋轉(zhuǎn)鉬靶材的結(jié)合面進(jìn)行噴砂處理，對(duì)背管的結(jié)合面進(jìn)行鍍鎳處理，底座上固定有與加熱器連接的支架；

(2)第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接

將定位密封套固定在底座上，背管固定在定位密封套內(nèi)側(cè)，第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材套接在背管上且第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材底部與定位密封套頂部固定，使第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材、定位密封套和背管三者軸線重合，用加熱器由內(nèi)而外對(duì)背管與第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材進(jìn)行加熱，將焊料分布在第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材、定位密封套與背管三者之間的表面進(jìn)行潤(rùn)濕處理；用加熱器由內(nèi)而外對(duì)背管與第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材進(jìn)行加熱；將液態(tài)焊料由第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材上部注入背管、定位密封套和第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材三者形成的空間內(nèi)，然后由下到上逐段冷卻使焊料固化，將上述焊接好的結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)180°使第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材處于背管頂部；

(3)第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接

將第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材和定位密封套依次由背管底部套接，夾具夾持在第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材和支架之間，通過(guò)調(diào)整夾具使第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材、定位密封套、背管三者軸線重合，使第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材頂部與第一旋轉(zhuǎn)鉬靶材底部留出預(yù)留尺寸，且定位密封套抵接在第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材底部和背管之間，由內(nèi)而外對(duì)背管與第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材進(jìn)行加熱，將焊料分布在第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材、定位密封套與背管三者之間的表面進(jìn)行潤(rùn)濕處理；用加熱器由內(nèi)而外對(duì)背管與第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材進(jìn)行加熱；將液態(tài)焊料由第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材上部注入背管、定位密封套和第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材三者形成的空間內(nèi)，然后由下到上逐段冷卻使焊料固化，第三旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接同第二旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接方法。

2.如權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接方法，其特征在于：所述步驟(1)中背管是304不銹鋼材質(zhì)制成，焊料為銦系焊料；加熱器為外徑小于背管內(nèi)徑的圓柱形加熱器；所述支架為“7”形結(jié)構(gòu)，加熱器通過(guò)自動(dòng)伸縮鏈條懸掛在支架下方。

3.如權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接方法，其特征在于：所述步驟(1)中加熱器為可移動(dòng)式，分三段控溫，均勻性±2.5℃；噴砂粗糙度Ra為5-10μm，鍍鎳的厚度小于5μm。

4.如權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接方法，其特征在于：所述步驟(1)中旋轉(zhuǎn)鉬靶材的外徑與定位密封套外徑相等；所述旋轉(zhuǎn)鉬靶材內(nèi)徑尺寸公差為負(fù)0.2mm，不銹鋼背管外徑尺寸公差為正0.2mm。

5.如權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)鉬靶材的焊接方法，其特征在于：所述步驟(2)和(3)中加熱溫度是175-195℃，將焊料分布在旋轉(zhuǎn)鉬靶材、定位密封套與背管三者之間后用超聲波進(jìn)行潤(rùn)濕處理。