[發明專利]一種用于光譜校準的多結電池及其制作方法

有效

• 申請號: 201610761620.6
• 申請日: 2016-08-30
• 公開（公告）號: CN106340564B
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 李明陽;劉冠洲;畢京鋒;李森林;宋明輝;陳文俊
• 申請（專利權）人: 天津三安光電有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/042;G01R31/26;H02S50/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于光譜校準的多結電池，從上到下包括頂電極、具備多個子電池的外延結構和底電極，其特征在于：所述具備多個子電池的外延層結構與待測多結電池外延層結構相同，所述外延結構的其中一子電池作為校準電池，其余子電池作為非校準電池，所述各個所述非校準電池的側壁及上、下表面設有金屬結構，電性連接所述非校準電池的上、下表面，并與所述頂電極或底電極連接，構成短路電路結構，當外部電源接通所述頂電極和底電極時，所述非校準電池處于短路狀態，只有所述校準電池正常導通，處理工作狀態。

2.根據權利要求1所述的一種用于光譜校準的多結電池，其特征在于：所述外延結構的各個子電池之間通過隧穿結連接，所述短路電路結構通過所述隧穿結與所述非校準電池的上表面或下表面形成電性連接。

3.根據權利要求2所述的一種用于光譜校準的多結電池，其特征在于：所述隧穿結的摻雜濃度足夠高，使其與所述短路電路結構形成歐姆接觸。

4.根據權利要求1所述的一種用于光譜校準的多結電池，其特征在于：所述外延結構的頂面具有歐姆接觸層，各個子電池之間具有隧穿結，各個子電池包括發射區和基區。

5.根據權利要求4所述的一種用于光譜校準的多結電池，其特征在于：所述外延結構具有臺階，所述臺階包含多個子結電池中的至少一個子電池的發射區與基區，臺階的上表面為該子電池的外延層上的歐姆接觸層或隧穿結，臺階的下表面為該子電池下的隧穿結或襯底。

6.根據權利要求5所述的一種用于光譜校準的多結電池，其特征在于：所述臺階表面與側壁上覆蓋有金屬結構作為短路電路結構，該金屬結構與臺階表面的外延層形成歐姆接觸，將所述臺階中所包含的子電池上、下表面形成電性連接，使該結子電池處于短路狀態。

7.一種用于光譜校準的多結電池的制作方法，包含如下步驟：

提供一與待測多結電池外延層結構相同的外延結構，其具備多個子電池；

確定所述外延結構的其中一結子電池作為校準電池，其余子電池作為非校準電池；

在所述外延結構上制作頂電極、底電極及短路電路結構，其中所述非校準子電池的側壁及上、下表面設有金屬結構，電性連接所述非校準電池的上、下表面，并與所述頂電極或底電極連接，構成所述短路電路結構，當外部電源接通所述頂電極和底電極時，所述非校準電池處于短路狀態，只有所述校準電池正常導通，處理工作狀態。

8.根據權利要求7所述的用于光譜校準的多結電池的制作方法，包括如下步驟：

（1）提供襯底，在其上形成一與待測多結電池外延層結構相同的外延結構，其包括多結子電池及各結子電池之間的隧穿結；

（2）確定所述外延結構的其中一結子電池作為校準電池，其余子電池作為非校準電池；

（3）對所述外延層頂部的第一結子電池進行選區腐蝕，制作出第一結子電池臺階，露出其下的隧穿結外延層；接著在該臺階上再次進行選區腐蝕，同樣地，制作出下一結子電池的臺階，露出其下的隧穿結外延層；依次將多結電池的所有子電池制作出臺階，最后截止在所述襯底表面；

（4）在所述外延結構的頂面制作頂電極、在所述外延結構的底面制作底電極，在所述非校準電池的對應的臺階制作短路電路結構。

9.根據權利要求8所述的用于光譜校準的多結電池的制作方法，其特征在于：所述步驟（1）中，在所述隧穿結外延層與子電池外延層之間制備一層或多層腐蝕截止層，該腐蝕截止層不會被用于腐蝕子電池外延層和隧穿結外延層的溶液腐蝕，同時腐蝕該截止層的溶液不會腐蝕子電池外延層和隧穿結外延層。

10.根據權利要求8所述的用于光譜校準的多結電池的制作方法，其特征在于：所述步驟（4）中，在所述非校準電池的臺階側壁制作金屬結構，同時與該非校準電池的頂面和底面形成電性連接，將所述金屬結構與頂電極或底電極連接，作為短路電路結構。

11.根據權利要求10所述的用于光譜校準的多結電池的制作方法，其特征在于：所述金屬結構與所述臺階兩側保留的隧穿結形成歐姆接觸。