[發明專利]一種激光SE電池的制備方法

有效

• 申請號: 201610756795.8
• 申請日: 2016-08-29
• 公開（公告）號: CN106252462B
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 勵小偉;梁海;賴儒丹;周濤銘;胡巧;張小明
• 申請（專利權）人: 浙江啟鑫新能源科技股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 寧波市鄞州甬致專利代理事務所(普通合伙)33228
• 代理人: 代忠炯

1.一種激光SE電池的制備方法，其特征在于，它包括以下步驟：

1)用金剛線切割硅片至所需形狀；

2)將切割好的硅片置于堿性混合液中制絨；

3)利用激光打點的方式在硅片制絨表面均勻地進行打盲孔處理；

4)涂抹磷墨在打過盲孔的硅片表面上；

5)置于擴散爐，300～500℃通入POCl₃混合物2～3min；

6)冷卻，取出硅片，涂抹有機溶劑，對硅片表面進行激光掃描；所述有機溶劑由以下重量百分比的組分組成：三乙基氧化磷1～5％，磷酸三辛基酯10～15％，余量為異丙醇；

7)對激光掃描過的硅片用酸性混合液進行刻蝕；

8)在刻蝕后的硅片表面鍍減反射膜，絲網印刷，完成正面柵線和背面鋁背場的燒結。

2.根據權利要求1所述的激光SE電池的制備方法，其特征在于，所述步驟1)硅片為P型多晶硅片。

3.根據權利要求1所述的激光SE電池的制備方法，其特征在于，所述步驟2)堿性混合液由以下重量百分比的組分組成：NaOH 2～4％、乙二醇5～10％、SnCl₂1～3％，余量為水。

4.根據權利要求1所述的激光SE電池的制備方法，其特征在于，所述步驟3)中盲孔的孔深為100～150μm，盲孔的孔徑為50～100μm。

5.根據權利要求1所述的激光SE電池的制備方法，其特征在于，所述步驟5)POCl₃混合物由以下重量百分比的組分組成：POCl₃50～70％，O₂ 5～10％，余量為N₂。

6.根據權利要求1所述的激光SE電池的制備方法，其特征在于，所述步驟6)掃描所用儀器為飛秒激光器。

7.根據權利要求1所述的激光SE電池的制備方法，其特征在于，所述步驟7)酸性混合液由以下重量百分比的組分組成：HF 1～3％、H₂O₂ 5～10％，NH₄F 5～15％，余量為水。