[發明專利]一種Ω型頂柵結構的鰭式場效應晶體管及其制備方法在審
| 申請號： | 201610756154.2 | 申請日： | 2016-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN106158974A | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 黎明;陳珙;張嘉陽;黃如 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 賈曉玲 |
| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 型頂柵 結構 場效應 晶體管 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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