[發明專利]一種氧化鋁濺射靶材的制備方法在審
| 申請號： | 201610755295.2 | 申請日： | 2016-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN106191777A | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 賈澤夏;莊志杰;諸斌;顧宗慧 | 申請（專利權）人： | 基邁克材料科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/08 | 分類號： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 郭春遠 |
| 地址： | 215214 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氧化鋁 濺射 制備 方法 | ||
【說明書】：
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