[發明專利]晶圓搬運裝置改良結構在審
| 申請號： | 201610753625.4 | 申請日： | 2016-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN107785296A | 公開（公告）日： | 2018-03-09 |
| 發明（設計）人： | 林永國 | 申請（專利權）人： | 樂華科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙)32260 | 代理人： | 張歡勇 |
| 地址： | 中國臺灣新北*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 搬運 裝置 改良 結構 | ||
1.一種晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：包含：
一移動載具；
復數設于該移動載具一側的移動輪，系供該移動載具自由移動；
一樞設于該移動載具上的活動擺臂，系直接透過一驅動馬達進行擺動；
一樞設于該活動擺臂背離該驅動馬達一端的夾持裝置；及
一設于該活動擺臂內餓傳動組件，該傳動組件系包含一與該驅動馬達同軸設置的固定輪、一設于該夾持裝置一側供轉動該夾持裝置的轉動輪、及一連結該轉動輪及該固定輪的傳動帶，系使該活動擺臂及該轉動輪同步反向旋轉，以此維持該夾持裝置保持水平。
2.如權利要求1所述的晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：移動載具系包含一活動升降臺，且該活動擺臂系樞設于該活動升降臺上。
3.如權利要求2所述的晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：活動升降臺系包含一頂推螺桿、及一設于該頂推螺桿一側供驅動該頂推螺桿的升降馬達。
4.如權利要求2所述的晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：驅動馬達系設于該活動升降臺上。
5.如權利要求1所述的晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：移動載具一側具有至少一定位腳架。
6.如權利要求5所述的晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：定位腳架系包含一鎖固組件，系供調整該定位腳架的長度。
7.如權利要求1所述的晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：移動載具上具有至少一供承載及固定一被夾物的定位部。
8.如權利要求7所述的晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：晶圓搬運裝置一側系鏈接一承載裝置，系供該夾持裝置置放該被夾物。
9.如權利要求1所述的晶圓搬運裝置改良結構，其特征在于：傳動組件系包含一設于該傳動帶一側的調節輪，系供調節該傳動帶的松緊度。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
