[發(fā)明專利]一種真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)及其封裝方法

有效

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• 申請日: 2016-08-26
• 公開（公告）號: CN106206214B
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發(fā)明（設計）人: 劉興宇;邵志強;桂永雷;王輝;張鵬;孫權
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十九研究所
• 主分類號: H01J9/385
• 分類號: H01J9/385;H01J9/395
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所23109
• 代理人: 牟永林

技術領域

本發(fā)明涉及一種真空封裝氣室系統(tǒng)及其封裝方法。

背景技術

真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)是用于制備輝光放電發(fā)光器件的必須設備，其廣泛應用于各種氣體本身的磁學、光學等特性的研究，同時真空封裝氣體輝光發(fā)光器件也廣泛應用于醫(yī)療消毒、環(huán)境檢測、半導體材料光損傷檢測等領域。

現(xiàn)在有的真空氣室封裝僅限于封裝單一的功能，其后要通過拉玻璃泡的方式注入工作氣體，其壓強控制誤差很大，同時無法滿足一體化制備的要求，工藝步驟較多。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是提供一種真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)及其封裝方法；以解決現(xiàn)有真空氣室封裝僅限于封裝單一的功能，其后要通過拉玻璃泡的方式注入工作氣體，其壓強控制誤差很大，同時無法滿足一體化制備的要求，工藝步驟較多的問題。

一種真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)包括抽真空裝置、可開啟密封腔體、連接桿、第一磁條、第二磁條、第三磁條、第四磁條、進氣裝置及光電二極管；所述的可開啟密封腔體為長方體結構，且沿長度方向水平放置；所述的可開啟密封腔體材質為石英；

在可開啟密封腔體的左右側面上分別設有抽真空裝置及進氣裝置，在可開啟密封腔體內部分別設有連接桿、第一磁條、第四磁條及光電二極管，在可開啟密封腔體外部分別設有第二磁條及第三磁條；所述的第一磁條位于可開啟密封腔體內部側壁上，且與設置在可開啟密封腔體外部的第二磁條相吸，在第一磁條上設有連接桿；所述的第四磁條位于可開啟密封腔體底部內壁上，且與設置在可開啟密封腔體外部的第三磁條相吸；

所述的連接桿、第一磁條、第二磁條、第三磁條及第四磁條構成三維磁力對準平臺；

在可開啟密封腔體上部及底部沿寬度方向分別設有上部凹槽及底部凹槽，所述的上部凹槽與底部凹槽相對設置，且上部凹槽與底部凹槽尺寸相同，在上部凹槽與底部凹槽之間的腔體右側設有光電二極管，在上部凹槽及底部凹槽底面分別設有環(huán)形電極板，且環(huán)形電極板位于可開啟密封腔體外部。

一種真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)的封裝方法具體是按以下步驟進行的：

一、首先將氟化鎂窗口片的粘接面均勻涂覆紫外固化膠，然后將氟化鎂窗口片頂面通過熱熔膠固定于第四磁條上，再將石英腔體底面通過熱熔膠固定于連接桿上，最后利用抽真空裝置將可開啟密封腔體抽到真空系統(tǒng)的極限真空；

二、接通電源，利用進氣裝置輸入氣體，通過進氣裝置和真空裝置調節(jié)可開啟密封腔體的壓強，直至可開啟密封腔體壓強和氣體比例達到光電二極管電流最大，然后利用三維磁力對準平臺進行調節(jié)，使氟化鎂窗口片與石英腔體接觸，紫外固化，即完成一種真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)的封裝方法。

本發(fā)明當可開啟密封腔體內輸入氣體后，并開啟與環(huán)形電極板相連接的高壓交流電源時，上部凹槽與底部凹槽之間的腔體內形成有紫外固化光源。

本發(fā)明的有益效果是：1、相對于傳統(tǒng)真空氣室制備系統(tǒng)，有著功能集成化，造價便宜，封裝兼容性好等優(yōu)點。

2、本發(fā)明所述真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)可以在封裝前對氣體組分優(yōu)化調節(jié)，對不同組分氣體，壓強實現(xiàn)微調節(jié)，以實現(xiàn)真空氣室內由于環(huán)境誤差導致的設備參數誤差的補償，可供各類氣體輝光樣品進行實驗研發(fā)使用，對非標準氣室和窗口可以進行三維調節(jié)實現(xiàn)氣室和窗口的對接，這種方法在實驗室內研發(fā)新型發(fā)光氣室的研究起著重要作用，同時在工業(yè)生產中，可以保證高重復率和高可靠性，最大限度的避免因為單一參數測量誤差導致的成批量產品的性能下降。

3、由于紫外固化光源利用可開啟密封腔體內與被封裝氣體一致的氣體作為輝光氣體源，所以紫外固化光源在整個系統(tǒng)中不僅僅作為固化光源，當光電二極管電流最大時，同時也是可開啟密封腔體的最優(yōu)化氣體比例、壓強的同步表征參量，可以同步表征真空封裝發(fā)光氣室的工作狀態(tài)，對發(fā)光氣室的工作物質可以進行微調，實現(xiàn)兩個功能一體化。

4、三維磁力對準平臺在試驗中可針對不同形狀腔體、窗口位置進行調整，在可開啟密封腔體外測通過操縱第三磁條實現(xiàn)可開啟密封腔體內部第四磁條的平移；同理通過操作可開啟密封腔體外的第二磁條，進而調整可開啟密封腔體內部第一磁條，最終實現(xiàn)封裝前的窗口與腔體物理接觸，對科研設備來說，實現(xiàn)了多類型、多角度的調整，可供發(fā)光氣室的形狀參數的研發(fā)使用，其兼容性避免了對特定樣品封裝的要求，更具廣泛的研發(fā)適用性。

本發(fā)明用于一種真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)及其封裝方法。

附圖說明

圖1為本發(fā)明真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)的結構示意圖；

圖2為圖1沿A-A方向的剖視圖；

圖3為實施例一所述的氟化鎂窗口片的結構示意圖。

具體實施方式