[發明專利]一種具有大光致伸縮效應器件的制作方法有效
| 申請號： | 201610749279.2 | 申請日： | 2016-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN107256923B | 公開（公告）日： | 2019-08-23 |
| 發明（設計）人： | 韓芍娜;趙艷偉;陳鳳華;黃海松;趙娜 | 申請（專利權）人： | 鄭州工商學院 |
| 主分類號： | H01L41/22 | 分類號： | H01L41/22;H01L41/25 |
| 代理公司： | 鄭州優盾知識產權代理有限公司 41125 | 代理人： | 孫詩雨;董曉慧 |
| 地址： | 451400 河南省鄭州市*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 大光致 伸縮 效應 器件 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有光致伸縮效應器件的制作方法，其特征在于是按照下述方式制備的：
（1）選擇具有取向的單晶作為導電襯底；
（2）在襯底上生長厚度為100~1000 nm的壓電薄膜；
（3）在壓電薄膜上先生長具有豎直部分和水平部分的L型導電薄膜、再生長絕緣層；在絕緣層上生長厚度為400~600nm的鐵電光伏層和電極；
所述的絕緣層采用兩步脈沖沉積方式制備：
a. 利用掩膜遮擋導電薄膜的水平部分，生長絕緣層至與導電薄膜的水平部分等高；
b. 撤去掩膜，沉積絕緣層至相應的厚度。
2.根據權利要求1所述的具有光致伸縮效應器件的制作方法，其特征在于：所述導電襯底為具有取向的SrRuO3單晶，所述導電薄膜是SrRuO3薄膜。
3.根據權利要求1所述的具有光致伸縮效應器件的制作方法，其特征在于：所述壓電薄膜為鋯鈦酸鉛鍶薄膜。
4.根據權利要求1所述的具有光致伸縮效應器件的制作方法，其特征在于：所述絕緣層為TbScO3絕緣層。
5.根據權利要求1所述的具有光致伸縮效應器件的制作方法，其特征在于：所述鐵電光伏層為BFO薄膜。
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