[發明專利]一種三軸加速計有效
| 申請號： | 201610743205.8 | 申請日： | 2016-08-27 |
| 公開（公告）號： | CN107782914B | 公開（公告）日： | 2021-07-09 |
| 發明（設計）人： | 鄒波;鄭青龍 | 申請（專利權）人： | 深迪半導體（紹興）有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 上海劍秋知識產權代理有限公司 31382 | 代理人： | 楊飛 |
| 地址： | 312030 浙江省紹興市柯橋區柯橋*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加速 | ||
1.一種三軸加速計，其特征在于，包括具有沿Y軸方向設置的兩個凹槽的質量塊，兩個所述凹槽貫穿所述質量塊的上下兩個端面，且所述凹槽沿X軸方向以及Y軸方向均對稱；所述質量塊通過分別設置于兩個所述凹槽的組合梁連接于固定錨點；兩個所述凹槽均呈上下以及左右對稱的工字型，所述凹槽包括上下兩個水平槽以及與兩個所述水平槽連接的連通槽；所述組合梁包括分別設置于兩個所述水平槽的彈簧梁，還包括與兩根所述彈簧梁連通的剛性梁；兩個所述水平槽平行于X軸設置，所述連通槽平行于Y軸設置；兩個所述凹槽上下及左右對稱設置于所述質量塊；所述固定錨點設置于所述質量塊的正中心，且兩個所述凹槽分別設置于所述固定錨點的上下兩側。
2.根據權利要求1所述的三軸加速計，其特征在于，還包括用以檢測所述X軸、Y軸和Z軸加速度的檢測電容。
3.根據權利要求2所述的三軸加速計，其特征在于，所述檢測電容具體包括4個用以檢測所述X軸加速度的X軸檢測電容、4個用以檢測所述Y軸加速度的Y軸檢測電容和4個用以檢測所述Z軸加速度的Z軸檢測電容。
4.根據權利要求3所述的三軸加速計，其特征在于，4個所述X軸檢測電容、4個所述Y軸檢測電容和4個所述Z軸檢測電容均以所述質量塊的中心位置上下左右對稱。
5.根據權利要求2所述的三軸加速計，其特征在于，所述檢測電容具體為以所述質量塊的中心位置上下左右對稱的四個電容。
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