[發(fā)明專利]一種高質(zhì)量氮化物外延片的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610739620.6 | 申請日： | 2016-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN106328772B | 公開（公告）日： | 2018-12-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王國宏;李志聰;王明洋;戴俊;閆其昂;孫一軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 揚州中科半導(dǎo)體照明有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L33/12;H01L21/205;C23C16/44;C23C16/52;C23C16/34 |
| 代理公司： | 揚州市錦江專利事務(wù)所 32106 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 225009 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 質(zhì)量 氮化物 外延 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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