[發明專利]一種磁性隧道結的制備方法在審
| 申請號： | 201610733731.6 | 申請日： | 2016-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN107785482A | 公開（公告）日： | 2018-03-09 |
| 發明（設計）人： | 左正笏;喻濤;陳志剛;谷勛;劉瑞盛;劉波 | 申請（專利權）人： | 中電海康集團有限公司 |
| 主分類號： | H01L43/08 | 分類號： | H01L43/08;H01L43/12 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙)33240 | 代理人： | 楊天嬌 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁性 隧道 制備 方法 | ||
1.一種磁性隧道結的制備方法，在襯底上沉積第一電極，在第一電極上堆積MTJ、第二電極，MTJ包括第一磁性層、遂穿層和第二磁性層，其特征在于，所述磁性隧道結的制備方法包括：
在刻蝕第二磁性層和隧穿層后沉積保護層，再刻蝕掉多余的保護層，暴露出第一磁性層；或，在刻蝕第二磁性層后沉積保護層，再刻蝕隧穿層，暴露出第一磁性層；
對暴露的第一磁性層進行含氧預處理；
對暴露的第一磁性層進行離子注入，形成摻雜的磁性層；
刻蝕掉摻雜的磁性層，暴露出第二電極；
最后沉積保護層，完成磁性隧道結的制備。
2.根據權利要求1所述的磁性隧道結的制備方法，其特征在于，所述第一磁性層和第二磁性層為含鎳的金屬材料、或含釕的金屬材料。
3.根據權利要求1所述的磁性隧道結的制備方法，其特征在于，所述第一電極和第二電極為鎢，釕，鉭，鈦，氮化鈦，氮化鉭或者摻雜的硅材料。
4.根據權利要求1所述的磁性隧道結的制備方法，其特征在于，所述保護層材料為SiNx或AlOx。
5.根據權利要求1所述的磁性隧道結的制備方法，其特征在于，所述含氧預處理過程用含氧氣的混合氣體，含氧的氣體可以選擇O2，H2O，O3，N2O中的一種或者多種。
6.根據權利要求1所述的磁性隧道結的制備方法，其特征在于，所述遂穿層的刻蝕以第二電極和第二磁性層為掩膜，并以遂穿層與保護層來刻蝕第一磁性層。
7.根據權利要求1所述的磁性隧道結的制備方法，其特征在于，所述遂穿層的刻蝕以第二電極和第二磁性層以及覆蓋的防護層為掩膜，并以遂穿層來刻蝕第一磁性層。
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