[發明專利]一種基于硅硅鍵合的高精度壓力傳感器的制造方法有效
| 申請號： | 201610730665.7 | 申請日： | 2016-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN106153221B | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發明（設計）人： | 李穎;張治國;鄭東明;梁峭;祝永峰 | 申請（專利權）人： | 沈陽儀表科學研究院有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/18 | 分類號： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 沈陽科威專利代理有限責任公司 21101 | 代理人： | 楊濱 |
| 地址： | 110043 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 硅硅鍵合 高精度 壓力傳感器 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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