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[發明專利]基于金屬誘導刻蝕紅外增強Si?PIN探測器及其制備方法在審

專利信息
申請號: 201610729858.0 申請日: 2016-08-26
公開(公告)號: CN106129168A 公開(公告)日: 2016-11-16
發明(設計)人: 李偉;宋欽劍;郭國輝;鐘豪;茍*豪;蔣亞東 申請(專利權)人: 電子科技大學
主分類號: H01L31/105 分類號: H01L31/105;H01L31/0352;H01L31/18;H01L31/20
代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232 代理人: 敖歡;葛啟函
地址: 611731 四川省成*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基于 金屬 誘導 刻蝕 紅外 增強 si pin 探測器 及其 制備 方法
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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