[發明專利]用于帶電粒子顯微鏡的低溫樣本的制備

有效

• 申請號: 201610729505.0
• 申請日: 2016-08-26
• 公開（公告）號: CN106872500B
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: H-W.雷米格伊
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周學斌;張濤

1.一種為帶電粒子顯微鏡中的研究制備樣本的方法，由此該樣本經受使用致冷劑的快速冷卻，該方法包括：

-提供用于輸送低溫流體的兩個導管，這些導管中的每一個都打開進入管口，這些管口被布置成跨介于中間的間隙而面對彼此；

-將樣本放置在所述間隙中；以及

-通過所述導管泵送低溫流體以便從所述管口同時沖刷，由此從兩個相對面將樣本突然浸入在低溫流體中。

2.根據權利要求1所述的方法，其中：

-所述導管被布置在柱塞中，由此每個導管具有在柱塞底面上的入口孔徑，并且所述間隙被提供為柱塞頂面中的狹槽；

-在所述柱塞下面提供低溫流體浴液；以及

-使用將向下壓力施加在所述柱塞上的工具來將所述樣本插入到所述狹槽中，由此至少部分淹沒柱塞并引起所述浴液中的低溫流體流入所述入口孔徑中并通過所述管口出現。

3.根據權利要求1所述的方法，其中：

-所述樣本是基本上平面的，具有相對定位的主表面；以及

-該樣本被布置在所述間隙中以使得所述主表面面向所述管口。

4.根據權利要求3所述的方法，其中所述樣本包括平面網格。

5.根據權利要求1所述的方法，其中所述低溫流體包括溫度在范圍-160℃到-183℃中的液態乙烷。

6.一種用于為帶電粒子顯微鏡中的研究制備樣本的裝置，由此該樣本經受使用致冷劑的快速冷卻，該裝置包括：

-用于輸送低溫流體的一對導管，這些導管中的每一個都打開進入管口，這些管口被布置成跨樣本被布置在其中的介于中間的間隙而面對彼此；以及

-泵送機構，其用于通過所述導管泵送低溫流體以便從所述管口同時沖刷并且從兩個相對面將樣本突然浸入在低溫流體中。

7.根據權利要求6所述的裝置，其中：

-所述導管被布置在柱塞中，由此每個導管具有在柱塞底面上的入口孔徑，并且所述間隙被提供為柱塞頂面中的狹槽。

8.使用如權利要求1所要求保護的方法制備的樣本在帶電粒子顯微鏡中的使用包括：

- 樣本保持器，其用于容納樣本；

- 冷卻設備，其用于至少在樣本在所述樣本保持器上時將所述樣本維持在低溫溫度；

-源，其用于產生帶電粒子射束；

-照明器，其用于引導所述射束以便照射樣本；以及

-檢測器，其用于響應于所述照射檢測從樣本發出的輻射通量。

9.根據權利要求2所述的方法，其中：

-所述樣本是基本上平面的，具有相對定位的主表面；以及

-該樣本被布置在所述間隙中以使得所述主表面面向所述管口。

10.根據權利要求2所述的方法，其中所述低溫流體包括溫度在范圍-160℃到-183℃中的液態乙烷。

11.根據權利要求3所述的方法，其中所述低溫流體包括溫度在范圍-160℃到-183℃中的液態乙烷。

12.根據權利要求4所述的方法，其中所述低溫流體包括溫度在范圍-160℃到-183℃中的液態乙烷。

13.根據權利要求2所述的方法，進一步包括：

在帶電粒子顯微鏡內，在樣本保持器中提供樣本；

至少在樣本在所述樣本保持器上時使用冷卻設備將所述樣本維持在低溫溫度；

從源產生帶電粒子射束；

使用照明器引導所述射束以便照射樣本；以及

使用檢測器響應于所述照射檢測從樣本發出的輻射的輻射通量。