[發明專利]熱屏組件及單晶提拉爐熱場結構

在審

• 申請號: 201610728299.1
• 申請日: 2016-08-25
• 公開（公告）號: CN107779946A
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發明（設計）人: 鄧先亮;趙向陽;陳強
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14;C30B15/10;C30B29/06
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙)31219
• 代理人: 余明偉

1.一種熱屏組件，適用于單晶提拉爐熱場結構，其特征在于，所述熱屏組件包括熱屏及位于所述熱屏外圍的排氣管。

2.根據權利要求1所述的熱屏組件，其特征在于：所述排氣管包括第一段及第二段；所述排氣管第一段緊貼所述熱屏背面并延伸至所述熱屏底部附近；所述排氣管第二段平行設置，所述排氣管第二段的一端與所述排氣管第一段內部相連通，另一端延伸至所述單晶提拉爐熱場結構的外部。

3.根據權利要求1所述的熱屏組件，其特征在于：所述排氣管的第一段底部呈喇叭口狀。

4.根據權利要求1所述的熱屏組件，其特征在于：所述排氣管為鉬管。

5.根據權利要求1所述的熱屏組件，其特征在于：所述熱屏徑向截面的形狀及所述排氣管徑向截面的形狀均為圓環形。

6.根據權利要求1所述的熱屏組件，其特征在于：所述熱屏組件還包括擋板，所述擋板固定于所述熱屏底部，且自所述熱屏底部向所述熱屏的外側延伸至所述排氣管的下方。

7.根據權利要求6所述的熱屏組件，其特征在于：所述排氣管的第一端在所述擋板上的投影位于所述擋板的表面內，且所述排氣管的第一端與所述擋板的上表面相隔一定的間距。

8.根據權利要求6所述的熱屏組件，其特征在于：所述擋板為鉬擋板。

9.根據權利要求6所述的熱屏組件，其特征在于：所述擋板徑向截面的形狀為圓環形。

10.一種單晶硅提拉爐熱場結構，其特征在于，所述單晶硅提拉爐熱場結構包括：

爐體；

坩堝，位于所述爐體內；

如權利要求1至9中任一項所述的熱屏組件，位于所述爐體內，且位于所述坩堝上方；所述排氣管的第二段延伸至所述爐體的外部。

11.根據權利要求10所述的單晶硅提拉爐熱場結構，其特征在于：所述單晶硅提拉爐熱場結構還包括：

加熱器，位于所述爐體內，且位于所述坩堝外圍；

石墨結構，位于所述爐體內，且位于所述加熱器及所述熱屏組件外圍；

保溫層，位于所述爐體內，且位于所述石墨結構的外圍；

石墨端蓋，位于所述爐體內，且位于所述石墨結構及所述保溫層的頂部；所述排氣管的第二端自所述石墨端蓋的上表面延伸至所述爐體的外部。