[發(fā)明專利]開蓋機(jī)構(gòu)和半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610725732.6
• 申請日: 2016-08-25
• 公開（公告）號: CN107785284B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李璐
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種開蓋機(jī)構(gòu)，用于實(shí)現(xiàn)上電極系統(tǒng)與反應(yīng)腔室的開合，所述開蓋機(jī)構(gòu)包括提升機(jī)構(gòu)和連接機(jī)構(gòu)，所述提升機(jī)構(gòu)用于通過所述連接機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述上電極系統(tǒng)作升降運(yùn)動(dòng)，其特征在于，所述連接機(jī)構(gòu)包括：

豎直設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸；

固定組件，用于將所述旋轉(zhuǎn)軸與所述提升機(jī)構(gòu)連接；

連接組件，用于將所述上電極系統(tǒng)與所述旋轉(zhuǎn)軸連接，且使所述上電極系統(tǒng)能夠圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；

軸承組件，用于向所述連接組件提供支撐力，同時(shí)在所述上電極系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，與所述固定組件滾動(dòng)接觸；

所述軸承組件包括：

支撐支架，固定在所述連接組件的底部；

由至少一個(gè)第一軸承組成的軸承組，所述第一軸承與所述支撐支架可自轉(zhuǎn)的連接，且所述第一軸承在所述上電極系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，與所述固定組件滾動(dòng)接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開蓋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述固定組件包括：

兩個(gè)固定座，分別將所述旋轉(zhuǎn)軸的兩個(gè)端部與所述提升機(jī)構(gòu)連接，并且每個(gè)所述固定座的外周面為以所述旋轉(zhuǎn)軸的軸線為中心的圓弧面；

所述第一軸承的外周面與所述圓弧面相切。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開蓋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述支撐支架包括在豎直方向上相對設(shè)置的頂板和底板；所述軸承組件還包括：

固定軸，豎直設(shè)置在所述頂板和底板之間；所述第一軸承套設(shè)在所述固定軸上，且能夠圍繞所述固定軸旋轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的開蓋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述固定軸為多個(gè)，且沿所述旋轉(zhuǎn)軸的周向間隔分布；

在每個(gè)所述固定軸上套設(shè)有至少一個(gè)所述第一軸承。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開蓋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一軸承包括滾動(dòng)球軸承。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開蓋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述固定組件固定連接；所述連接組件包括：

第二軸承，套設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)軸上；

連接件，其將所述上電極系統(tǒng)與所述第二軸承連接，且能夠圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的開蓋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二軸承包括端面樹脂軸承。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的開蓋機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸通過第三軸承與所述固定組件可自轉(zhuǎn)的連接；所述連接組件包括：

連接件，其將所述上電極系統(tǒng)與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接。

9.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室、位于所述反應(yīng)腔室頂部的上電極系統(tǒng)，以及位于所述反應(yīng)腔室底部且與所述上電極系統(tǒng)相對應(yīng)的下電極系統(tǒng)，其特征在于，還包括開蓋機(jī)構(gòu)，所述開蓋機(jī)構(gòu)包括權(quán)利要求1～8任意一項(xiàng)所述的開蓋機(jī)構(gòu)。