[發明專利]薄膜電路帶孔瓷片光刻真空夾具在審
| 申請號： | 201610724598.8 | 申請日： | 2016-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN106154769A | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 詹為宇;林曉莉 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第十研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成飛(集團)公司專利中心 51121 | 代理人： | 郭純武 |
| 地址： | 610036 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 電路 瓷片 光刻 真空 夾具 | ||
【說明書】：
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