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[發明專利]一種用于硅片清洗的混合型超聲波清洗劑在審

專利信息
申請號: 201610714717.1 申請日: 2016-08-24
公開(公告)號: CN106350241A 公開(公告)日: 2017-01-25
發明(設計)人: 呂鳳崗;程林;曹來福;戴珍旭;胡正田 申請(專利權)人: 安徽正田能源科技有限公司
主分類號: C11D1/22 分類號: C11D1/22;C11D1/72;C11D1/14;C11D3/12;C11D3/14;C11D3/04;C11D3/06;C11D3/20;C11D3/38;C11D3/60
代理公司: 安徽信拓律師事務所34117 代理人: 張加寬
地址: 239300 安徽省滁*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 硅片 清洗 混合 超聲波 洗劑
【說明書】:
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