[發明專利]一種用于硅片清洗的酸性超聲波清洗劑在審
| 申請號： | 201610714671.3 | 申請日： | 2016-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN106336953A | 公開（公告）日： | 2017-01-18 |
| 發明（設計）人： | 呂鳳崗;程林;曹來福;戴珍旭;胡正田 | 申請（專利權）人： | 安徽正田能源科技有限公司 |
| 主分類號： | C11D1/14 | 分類號： | C11D1/14;C11D3/04;C11D3/06;C11D3/08;C11D3/20;C11D3/60 |
| 代理公司： | 安徽信拓律師事務所34117 | 代理人： | 張加寬 |
| 地址： | 239300 安徽省滁*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 硅片 清洗 酸性 超聲波 洗劑 | ||
【權利要求書】：
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