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[發明專利]一種一次合成氮化硅和氮化鋁的方法有效

專利信息
申請號: 201610710874.5 申請日: 2016-08-23
公開(公告)號: CN106365641B 公開(公告)日: 2018-12-11
發明(設計)人: 汪思保;林永興 申請(專利權)人: 安徽科創中光科技有限公司
主分類號: C04B35/581 分類號: C04B35/581;C04B35/593;C04B35/645
代理公司: 北京市科名專利代理事務所(特殊普通合伙) 11468 代理人: 陳朝陽
地址: 230088 安徽省合肥市*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 一次 合成 氮化 方法
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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