[發(fā)明專利]一種光學(xué)平板檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610710555.4
• 申請(qǐng)日: 2016-08-23
• 公開（公告）號(hào): CN107764831B
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何品將
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州海康機(jī)器人技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01N21/95
• 代理公司: 北京柏杉松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 馬敬;項(xiàng)京

1.一種光學(xué)平板檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：中空橢圓柱形狀的反射鏡、光源和線陣相機(jī)；

所述反射鏡的內(nèi)表面為反射面，其設(shè)置有兩對(duì)狹縫，每對(duì)狹縫的中心連接面均經(jīng)過所述反射鏡的第一焦線；其中，第一對(duì)狹縫用于放置待測(cè)光學(xué)平板，使所述待測(cè)光學(xué)平板經(jīng)過所述第一焦線；

所述光源設(shè)置于所述反射鏡的第二焦線處，所述光源外設(shè)置有濾光器件，所述濾光器件與所述光源形狀相配合，環(huán)繞所述光源，所述濾光器件內(nèi)側(cè)鍍有非均勻透過率的薄膜，以使得所述第一焦線處的光線均勻；

所述線陣相機(jī)設(shè)置于第二對(duì)狹縫中的第一狹縫外，所述線陣相機(jī)的鏡頭對(duì)準(zhǔn)所述第一焦線對(duì)所述待測(cè)光學(xué)平板進(jìn)行拍攝，所述第一對(duì)狹縫的中心連接面與第二對(duì)狹縫的中心連接面垂直。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一狹縫與所述光源在所述待測(cè)光學(xué)平板的同一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述線陣相機(jī)的線陣方向與所述第一焦線方向平行。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述線陣相機(jī)的光軸方向與所述第一焦線垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，還包括：一個(gè)雜光吸收元件；

所述雜光吸收元件包裹所述線陣相機(jī)，用于吸收所述第一狹縫處存在的所述光源之外的雜光；或，

所述雜光吸收元件設(shè)置于所述第二對(duì)狹縫中的第二狹縫外，用于吸收所述第二狹縫處存在的所述光源之外的雜光。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，還包括：兩個(gè)雜光吸收元件；

其中一個(gè)雜光吸收元件包裹所述線陣相機(jī)，用于吸收所述第一狹縫處存在的所述光源之外的雜光；

另一個(gè)雜光吸收元件設(shè)置于所述第二對(duì)狹縫中的第二狹縫外，用于吸收所述第二狹縫處存在的所述光源之外的雜光。

7.一種光學(xué)平板檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：中空橢圓柱形狀的反射鏡、光源和線陣相機(jī)；

所述反射鏡的內(nèi)表面為反射面，其設(shè)置有至少兩對(duì)狹縫，每對(duì)狹縫的中心連接面均經(jīng)過所述反射鏡的第一焦線；其中，第一對(duì)狹縫用于放置待測(cè)光學(xué)平板，使所述待測(cè)光學(xué)平板經(jīng)過所述第一焦線；

所述光源設(shè)置于所述反射鏡的第二焦線處；

所述線陣相機(jī)設(shè)置于第二對(duì)狹縫中的第一狹縫外，所述線陣相機(jī)的鏡頭對(duì)準(zhǔn)所述第一焦線對(duì)所述待測(cè)光學(xué)平板進(jìn)行拍攝；

所述反射鏡還設(shè)置有第五狹縫；所述第五狹縫與所述光源在所述待測(cè)光學(xué)平板的同一側(cè)；

所述第五狹縫的中心線與所述第一焦線的連接面形成第一連接面；

所述第二對(duì)狹縫的中心連接面與所述第一對(duì)狹縫的中心連接面形成為第一夾角；

所述第一連接面與所述第一對(duì)狹縫的中心連接面形成為第二夾角；

所述第一夾角與所述第二夾角角度相等。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述第一狹縫與所述光源在所述待測(cè)光學(xué)平板的同一側(cè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述反射鏡還設(shè)置有第六狹縫，所述第六狹縫與所述光源在所述待測(cè)光學(xué)平板的不同側(cè)；

所述第五狹縫的中心線與所述第六狹縫的中心線形成的連接面經(jīng)過所述第一焦線。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述線陣相機(jī)的線陣方向與所述第一焦線方向平行。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于，所述線陣相機(jī)的光軸方向與所述第一焦線垂直。

12.根據(jù)權(quán)利要求7-11任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，還包括：一個(gè)雜光吸收元件；

所述雜光吸收元件包裹所述線陣相機(jī)，用于吸收所述第一狹縫處存在的所述光源之外的雜光；或，

所述雜光吸收元件設(shè)置于所述第二對(duì)狹縫中的第二狹縫外，用于吸收所述第二狹縫處存在的所述光源之外的雜光。