[發明專利]一種高品質因數的差分電感器結構及其制作工藝有效
| 申請號： | 201610708670.8 | 申請日： | 2016-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN106449592B | 公開（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發明（設計）人： | 趙文生;鄭杰;陳世昌;王晶;王高峰 | 申請（專利權）人： | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L23/522 | 分類號： | H01L23/522;H01L21/768;H01L21/60 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杜軍 |
| 地址： | 310018 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 品質因數 電感器 結構 及其 制作 工藝 | ||
【說明書】：
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