[發明專利]微細機械裝置及其制造方法有效
| 申請號： | 201610707721.5 | 申請日： | 2016-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN106477515B | 公開（公告）日： | 2018-06-01 |
| 發明（設計）人： | 添田將;石原卓也;關根正志;栃木偉伸 | 申請（專利權）人： | 阿自倍爾株式會社 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本東京都千代田*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 凸部 上表面 微細機械 正性光刻膠 高絕緣性 防粘連 衍射光 鄰接 凹部 基材 制造 平坦 曝光 干涉 | ||
【說明書】：
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