[發明專利]用于與納米反應器和電子顯微鏡協作的保持器組件

有效

• 申請號: 201610705161.X
• 申請日: 2016-08-23
• 公開（公告）號: CN107017143B
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: P.多納;L.梅勒
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 成城;胡斌

1.一種用于與納米反應器（100）和電子顯微鏡協作的保持器組件，其適于使得所述電子顯微鏡在工作中能夠用電子束照射所述納米反應器，所述保持器組件具有用于保持所述納米反應器（100）的遠端部（120），所述納米反應器（100）具有：第一平坦層（102），其帶有第一電子透明窗（104）；以及第二平坦層（106），其具有第二電子透明窗（108），所述第一平坦層和所述第二平坦層封閉封閉體積（112），所述第一電子透明窗與所述第二電子透明窗對齊，所述第一平坦層（102）具有用于使流體進入所述封閉體積（112）內的流體入口（114），

所述保持器組件適于使得所述保持器組件的所述遠端部（120）在工作中被放置在所述電子顯微鏡的抽空部分中，并且適于使得所述納米反應器（100）在工作中被附接到所述遠端部（120），所述遠端部（120）具有用于使所述電子束通過的中央孔（124），所述中央孔（124）適于在工作中與所述納米反應器（100）的所述第一電子透明窗（104）和所述第二電子透明窗（108）對齊，

所述遠端部（120）具有流體供應通道（126），所述流體供應通道包括流體供應密封元件（128），并且適于在工作中連接到所述流體入口（114）和供應流體，使得所述流體入口（114）與所述流體供應通道（126）之間的連接在工作中由所述流體供應密封元件（128）密封，

所述保持器組件的特征在于

所述保持器組件包括凹部（138），當所述納米反應器附接到所述保持器組件時，所述凹部（138）在所述遠端部（120）與所述第一平坦層（102）之間形成密封的預真空體積，并且所述保持器組件還包括終止于所述凹部（138）中的預真空通道（132），使得所述預真空體積能夠經由預真空通道（132）被抽空，且所述流體供應密封元件（128）暴露于抽空的所述預真空體積，使得經由所述流體供應密封元件（128）的所述流體的任何泄漏均能夠經由所述預真空通道（132）被泵離，而不進入所述電子顯微鏡的抽空部分中。

2.根據權利要求1所述的保持器組件，其中，所述保持器組件裝備成與具有流體出口（214）的納米反應器（100）協作，所述流體出口（214）用于使流體從所述封閉體積離開，所述遠端部（120）具有用流體出口密封元件（228）被密封到所述流體出口的流體出口通道（226），所述流體出口密封元件暴露于所述預真空體積，使得經由所述流體出口密封元件的所述流體的任何泄漏均能夠經由所述預真空通道（132）被泵離，而不進入所述電子顯微鏡的所述抽空部分中。

3.根據權利要求1所述的保持器組件，其用于與具有流體出口的納米反應器協作，所述流體出口采取縫隙的形式，并且在所述封閉體積與所述抽空體積之間有預定的泄漏速率。

4.根據前述權利要求中的任一項所述的保持器組件，其中，所述保持器組件裝備成與納米反應器協作，所述納米反應器的所述第一平坦層由密封構件（110）被密封到所述第二平坦表面，且所述密封構件（110）暴露于所述預真空體積，使得經由所述流體出口密封元件的所述流體的任何泄漏均能夠被泵離，而不進入所述電子顯微鏡的所述抽空部分中。

5.根據權利要求1至3中的任一項所述的保持器組件，其中，至少所述流體供應密封元件（128）包括彈性體。

6.根據權利要求1至3中的任一項所述的保持器組件，還包括用于連接到所述納米反應器上的連接墊的電氣連接件。

7.根據權利要求6所述的保持器組件，其中，所述電氣連接件適于被使用以向所述納米反應器供應加熱電流。