[發明專利]一種晶圓研磨頭清洗裝置及清洗方法有效
| 申請號： | 201610703066.6 | 申請日： | 2016-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN106141905B | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發明（設計）人： | 羅方;張傳民;文靜;林軍;吳科 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/34 | 分類號： | B24B37/34;B24B37/04;B24B53/017;B24B49/10;B24B55/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;張磊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨頭 清洗 清洗裝置 種晶 超聲波清洗 產品良率 高壓凈化 高壓氣體 清洗能力 研磨 企業利潤 超聲波 異物 超強 吹掃 刮傷 晶圓 清潔 | ||
【說明書】：
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