[發明專利]一種基于硅通孔陣列的三維螺旋電感器在審
| 申請號： | 201610703063.2 | 申請日： | 2016-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN106206553A | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發明（設計）人： | 尹湘坤;朱樟明;楊銀堂;李躍進;丁瑞雪 | 申請（專利權）人： | 西安電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L23/64 | 分類號： | H01L23/64 |
| 代理公司： | 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 710071*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 硅通孔 陣列 三維 螺旋 電感器 | ||
【權利要求書】：
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