[發明專利]一種用于大面積MCP清刷測試的真空裝置有效
| 申請號： | 201610695410.1 | 申請日： | 2016-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN106246512B | 公開（公告）日： | 2018-08-10 |
| 發明（設計）人： | 錢蕓生;宋誠鑫;趙慧明;湯貍明;金戈;邱亞峰;張振 | 申請（專利權）人： | 南京理工大學 |
| 主分類號： | F04B41/06 | 分類號： | F04B41/06;F04B37/14;F04B39/10;G01M13/00 |
| 代理公司： | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人： | 朱寶慶 |
| 地址： | 210094 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 大面積 mcp 測試 真空 裝置 | ||
【權利要求書】：
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