[發明專利]偏移校準方法及系統有效
| 申請號： | 201610694775.2 | 申請日： | 2016-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN106086786B | 公開（公告）日： | 2018-06-05 |
| 發明（設計）人： | 李寶軍;金龍;張金中;黃俊杰;唐富強 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陳源 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 預設位置 背板 掩膜板 偏移校準 校準 蒸鍍 偏移量 偏移 測量 所在平面 不良品 平移量 上開口 混色 預設 開口 | ||
【權利要求書】：
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